電子科技大學采用Pluto-MD等離子去膠機進行晶圓去膠

電子科技大學已采購多臺等離子設備，包括PLUTO-T等離子清洗機，PLUTO-MD等離子去膠機等，用戶反饋良好。

主要涉及的應用有：晶圓光刻膠的去除、電子半導體樣品表面有機物的去除、多功能微納結(jié)構(gòu)寬帶吸收器的表面處理等等。