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等離子去膠機(jī)的核心原理是利用高頻電磁場激發(fā)氣體分子,形成由離子、電子和活性自由基組成的等離子體。這種等離子體具有雙重作用:一是物理轟擊,高速離子撞擊膠層表面,使其分子鏈斷裂并剝離;二是化學(xué)刻蝕,活性自由基(如氧自由基、氟自由基)與膠層中的有機(jī)成分發(fā)生反應(yīng),生成揮發(fā)性氣體(如二氧化碳、水蒸氣或氟化物),被真空系統(tǒng)抽離。例如,在去除正性光刻膠時,氧自由基會與膠層中的碳?xì)滏I反應(yīng),生成可揮發(fā)的二氧化碳和水;而在處理含氟臨時鍵合膠時,氟自由基則能直接切斷膠層分子鏈,實(shí)現(xiàn)快速剝離。濕法化...
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等離子刻蝕機(jī)利用氣體放電生成的等離子體對材料表面進(jìn)行刻蝕。在高頻電場作用下,氣體分子離子化并形成等離子體,在等離子體中產(chǎn)生的活性粒子(如離子、自由基等)與材料表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng),將材料表面的原子或分子去除,從而實(shí)現(xiàn)對材料的刻蝕,可分為干法刻蝕機(jī)和濕法刻蝕機(jī)兩種類型。干法刻蝕機(jī)主要利用等離子體刻蝕,而濕法刻蝕機(jī)則利用液體溶液對材料表面進(jìn)行刻蝕。等離子刻蝕機(jī)包含主體腔體、真空系統(tǒng)、氣體輸送系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、高頻電源、控制系統(tǒng)等組成。主體腔體為反應(yīng)腔體,用于放置待刻蝕物。真空系統(tǒng)通過抽...
12-12
等離子處理機(jī),這個看似神秘但實(shí)則應(yīng)用廣泛的設(shè)備,正日益受到工業(yè)界的關(guān)注。它以高效、環(huán)保、節(jié)能的特點(diǎn),逐漸成為工業(yè)制造過程中的重要一環(huán)。本文將詳細(xì)介紹等離子處理機(jī)的原理、應(yīng)用及優(yōu)勢,幫助大家更好地了解這一重要的工業(yè)設(shè)備。一、等離子處理機(jī)的原理它是一種利用等離子體對材料進(jìn)行表面處理的設(shè)備。其核心部分包括電源、反應(yīng)室、真空系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)以及控制系統(tǒng)。工作原理是將氣體在強(qiáng)電場的作用下電離,形成由電子、自由基和離子組成的等離子體。這些活性粒子與材料表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng),形成新的物質(zhì)層,改變...
12-9
下面由等離子表面處理機(jī)廠家介紹等離子表面處理機(jī)是一種什么樣的設(shè)備:隨著現(xiàn)代工業(yè)的發(fā)展,對于材料表面性能要求越來越高,而表面處理與改性技術(shù)也得到了廣泛的應(yīng)用。在眾多的表面處理技術(shù)中,等離子表面處理技術(shù)以其高效、靈活、環(huán)保等特點(diǎn)受到了越來越多的關(guān)注。本文將從等離子表面處理機(jī)的工作原理、應(yīng)用領(lǐng)域及優(yōu)勢等方面詳細(xì)介紹等離子表面處理機(jī)。一、等離子表面處理機(jī)的工作原理等離子表面處理技術(shù)是指利用等離子體對材料表面進(jìn)行改性的一種表面處理技術(shù)。所謂等離子體,即由電離氣體中的正負(fù)離子和自由電子組...
12-4
等離子去膠機(jī)(Plasmaetcher)是一種用于去除材料表面膠層的設(shè)備。它利用等離子體技術(shù),通過將氣體電離和激發(fā),產(chǎn)生高能離子和自由基,以去除材料表面的膠層。通過等離子體與材料表面的化學(xué)反應(yīng)來去除膠層。在等離子體的作用下,膠層中的聚合物鏈斷裂,使膠層松散,并與氣體中的自由基反應(yīng),從而將膠層分解為易揮發(fā)的小分子,通過真空系統(tǒng)排出,用于去除膠層、清洗表面以及改善材料粘附性能。它具有可控性強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn),是一種重要的表面處理設(shè)備。等離子去膠機(jī)通常由以下幾個主要組件組成:1.真空室:用于...
11-20
隨著科技的不斷發(fā)展,等離子清洗機(jī)作為一種新型的表面處理技術(shù),正越來越受到各行各業(yè)的關(guān)注和青睞。特別是小型等離子清洗機(jī),由于其高效、綠色、便捷等特性,更是受到了廣大用戶的熱烈歡迎。本文將詳細(xì)介紹小型等離子清洗機(jī)的相關(guān)知識點(diǎn),幫助大家更好地了解和運(yùn)用這種新型的表面處理工具。一、什么是小型等離子清洗機(jī)?它是一種利用等離子體對物體表面進(jìn)行清潔、處理和改性的設(shè)備。它通過產(chǎn)生的高溫、高壓和高能的等離子體,可以有效地去除物體表面的污漬、油脂、雜質(zhì)等,同時還能在物體表面形成一層致密的氧化膜,...
11-14
隨著科技的不斷發(fā)展,各行各業(yè)對材料性能的要求越來越高。在眾多材料加工方法中,表面處理技術(shù)因其能夠顯著提高材料的性能而備受關(guān)注。等離子表面處理技術(shù)作為一種新型的表面處理方法,以其優(yōu)勢逐漸取代了傳統(tǒng)的化學(xué)和物理處理方法,成為材料表面處理領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)。一、等離子表面處理機(jī)的處理技術(shù)的基本原理等離子表面處理技術(shù)是利用高能量的等離子體對材料表面進(jìn)行改性的一種方法。等離子體是一種由正離子、負(fù)離子和自由電子組成的氣體,具有高溫、高能量的特點(diǎn)。在等離子表面處理過程中,將待處理材料置于等離子...
11-8
隨著科技的飛速發(fā)展,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)已經(jīng)成為全球競爭的焦點(diǎn)。在這個領(lǐng)域,刻蝕技術(shù)作為半導(dǎo)體制程中的關(guān)鍵一環(huán),一直備受關(guān)注。近年來,我國在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展上取得了顯著的成果,但在刻蝕機(jī)這一關(guān)鍵設(shè)備上,卻長期依賴進(jìn)口。為了打破這一局面,國產(chǎn)等離子刻蝕機(jī)應(yīng)運(yùn)而生,憑借其性能和競爭力,逐漸贏得了市場的認(rèn)可。一、國產(chǎn)等離子刻蝕機(jī)的技術(shù)創(chuàng)新1.自主研發(fā),突破核心技術(shù)它的研發(fā)過程中,始終堅持自主創(chuàng)新,突破了多項核心技術(shù)。在等離子產(chǎn)生、氣體輸送、刻蝕反應(yīng)等方面,都取得了重要的技術(shù)突破。這些技術(shù)突破...
10-27
國產(chǎn)等離子清洗機(jī)是種新型清洗設(shè)備,采用了等離子技術(shù),可以清洗各種物品。它具有環(huán)保節(jié)能等特點(diǎn),受到了廣大消費(fèi)者的青睞。其核心技術(shù)是等離子技術(shù)。等離子是一種高能態(tài)的物質(zhì),可以在較低的溫度下產(chǎn)生強(qiáng)大的清潔效果。該技術(shù)利用氣體分子間的碰撞和電子的激發(fā)來釋放能量,并以此來清洗物品表面的污垢。與傳統(tǒng)的清洗方法相比,等離子清洗機(jī)可以更加去除各種難以清洗的污漬,大大提高了清洗效果。除了清洗外,還具有環(huán)保節(jié)能的優(yōu)點(diǎn)。傳統(tǒng)的清洗方法通常需要使用化學(xué)清洗劑,這些清洗劑往往會對環(huán)境產(chǎn)生一定的污染。而...
10-20
隨著科技的不斷進(jìn)步,清洗行業(yè)也迎來了許多技術(shù)創(chuàng)新。其中,臺式真空等離子清洗機(jī)以其高效率的清洗效果成為了清洗行業(yè)的新寵。利用了等離子體的特性進(jìn)行清洗。當(dāng)物體放置在真空室內(nèi)時,清洗機(jī)將創(chuàng)造一個低壓環(huán)境,并通過引入氣體使其成為等離子體。等離子體產(chǎn)生的化學(xué)反應(yīng)能夠快速分解、溶解和清除物體表面的污垢,從而實(shí)現(xiàn)全面的清洗效果。臺式真空等離子清洗機(jī)的應(yīng)用場景:1.微電子和半導(dǎo)體工業(yè):可以高效清洗芯片、集成電路等微小零部件,去除表面雜質(zhì),提高產(chǎn)品質(zhì)量和穩(wěn)定性。2.光學(xué)工業(yè):由于等離子體清洗可...
9-28
等離子去膠機(jī)(PlasmaEtchingMachine)是用于去除材料表面膠層或薄膜的設(shè)備。它采用等離子體技術(shù),通過產(chǎn)生高能離子和活性基團(tuán),對材料表面進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)和物理刻蝕,以去除膠層或薄膜。通過在真空環(huán)境下產(chǎn)生等離子體。首先,將待處理的樣品放置在真空腔室中,并建立一定的氣體壓力。然后,通過加入高頻電場或射頻電場,將氣體電離成等離子體。等離子體中的高能離子和活性基團(tuán)與材料表面的膠層或薄膜發(fā)生反應(yīng),將其分解、蝕刻或氧化,從而實(shí)現(xiàn)去除。等離子去膠機(jī)的優(yōu)勢主要體現(xiàn)在以下幾個方面:1...