PLUTO-80等離子清洗機，表面處理系統是專為研發而設計的全功能等離子體系統，13.56MHz射頻發生器和自動匹配網絡電源在整個過程區域產生均勻的等離子體。Pluto80的真空腔可支持多達7個可調節樣品架，以容納各種形狀尺寸的樣品。Pluto80具有多種電極設置，可配置成RIE和PECVD模式，從而擴大了該系統的應用范圍，提供給用戶良好的靈活性。

PLUTO-160等離子體表面處理儀，等離子清洗機是一款為工業級客戶和研發型客戶使用需求設計的寬泛使用等離子表面處理設備，適用于等離子清洗，活化以及刻蝕等多種應用，設備可在嚴苛環境下穩定運行，獲得高度均一的使用效果。